V mnoha aplikacích ultračistého plynu, jako je například průmysl polovodičů, je zbytková vlhkost v plynu zásadní pro správný provoz procesu zpracování. Neustále sledování vlhkosti bylo vždy obtížné a vyžadovalo složité analyzátory vlhkosti nebo drahé analýzy. Nicméně MISSELL v současné době uvádí na trh jednoduché, ekonomické a poměrně efektivní řešení pro online měření rosného bodu, který dosahuje až neuvěřitelně nízké hranice -120 ° C (odpovídající méně než 1 ppb).V). Pura Transmitter je založen na dlouholetých zkušenostech s výrobou a kontrolou impedančních senzorů rosného bodu MISSELL Instruments v kombinaci se standardními průmyslovými materiály a výrobními procesy, aby vytvořil první nízkocenový vysílač pro výrobu polovodičů a aplikace s ultračistými plyny. Zvýraznění Dolní limit měření -120°C rosný bod (1 ppb)V) Stabilní měření, dobrá opakovatelnost Vysoce integrované vzorkovací zařízení Analogové a digitální výstupy Snadná instalace Procesové rozhraní VCR Kompaktní design Volitelná jednotka displeje/alarmu
Technické indikátory
Senzory Typ senzoru Keramické senzory vlhkosti MISSEL Rozsah -120 ~ -40°C Rosný bod (kontrolován na -100 ~ -40°C) Přesnost ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (odhad) Rozlišení 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Tlak minimálně 10-9 torr; maximálně 24 MPa Průtok plynu 1 až 5 Nl / min Elektrické Napájení Obvykle 24 V DC, minimálně 10 V až maximálně 28 V, maximální proud 25 mA Výstup Výstup 4-20 mA, nastavitelný rozsah pomocí speciálního softwaru, nastavitelný rozsah od 1 do 80 °C (standardně k dispozici) Maximální zatížení = 100 Ω + 50 Ω x (napájení V -8) Výstupní stav chyby Standardní výstupní chybová zpráva je následující: 23 mA = porucha senzoru; 20 mA = překročení horního limitu; 4 mA = přes dolní limit Mechanické vlastnosti Snímací pouzdro Nerezová ocel, 0,1-0,2 Ra µm Vzduchový port Premium nebo OEM: 1⁄4 m VCR rozhraní Pura Sensor Typ: ½' m VCR rozhraní Nastavení instalace Premium nebo OEM: délka 120,00 mm, koncové těsnění vzduchového portu. Nepotřebujete rezervovat prázdnoty v potrubí Dvě montážní otvory M4 x 0,7, 7 mm hloubky na základně, obojí 20 x 20 mm Typ Pura Sensor: pro použití v uživatelsky poskytnutém ½' VCR portu Velikost Premium nebo OEM: 120 x 35 x 150 mm Pura senzor 型: 132 x 35 mm Hmotnost Premium nebo OEM: 450 g Pura senzor 型: 180g Balení Pura: Dvoulůžkové balení s těsněním na plnění inertním plynem Pura OEM nebo Pura Sensor Typ: Jednovrstvé balení Všechna volitelná příslušenství: Doprava samostatným balením Typ senzoru má vlastní ochranný pouzdro na konci čipu pro přepravu a provoz